It is a MEMS pressure sensor switch based on silicon piezoresistive effect. The die is made by silicon micromachining technology, and the pressure to be measured acts on the back of the silicon diaphragm; the die and the bonding wires are protected by silica gel. Within the tolerable pressure range, the pressure sensor outputs a voltage signal linearly proportional to the pressure; monitors the internal air pressure of the filter element, and when the target alarm pressure point is reached, the switch is closed to generate an alarm signal; in a wide temperature range (-40 to +125℃) the sensor circuit provides accurate and stable signal output and temperature compensation.