近日，中国电子学会正式公布2024中国电子学会科学技术奖名单，由武汉飞恩微电子与武汉大学联合申报的“微纳电子器件制造工艺与装备”，荣膺科技进步二等奖。

此次获奖的微纳电子器件制造工艺与装备，聚焦MEMS压力传感器领域，突破了基于混合大数据的在线监测技术、基于深度神经网络的时序预测技术以及人工智能驱动的反馈调控策略等核心技术，解决了MEMS压力传感器大批量制造过程中复杂加工环境、多步工艺导致的成品良率难题。通过创新性地构建"感知-预测-调控"一体化智能制造体系，实现了对贴片、固化、键合等关键工艺的实时监测、精准预测与动态优化，为汽车电子、智能制造等领域提供了高可靠性、低成本的大规模制造解决方案。

飞恩微电子将继续深化产学研协同创新，以核心技术突破推动产业升级，为中国"智"造高质量发展注入新动能！