飞恩自主研发国内首款车规级MEMS压力芯片面世!

点击次数:2613 次  更新时间:2022-12-09

     

      2022年12月,飞恩微电子自主研发的MEMS压力芯片---FN-A1601系列芯片正式面世。FN-A1601系列芯片是全自主研发的国内首款车规级MEMS压力芯片,适用于汽车、智能家居、医疗器械、工业控制等领域。



FN-A1601应用领域


   FN-A1601包含两个型号系列,表压类型和背面绝压类型,均采用SOI硅片为衬底,车规级半导体工艺制造。采用先进的MEMS正面密封腔体,背部感压技术,具有耐腐蚀性,宽温度范围(-40℃~150℃),低漏电流(<10nA),高可靠性的特点,适合应用于汽车尾气压差测量,发动机进气压力测量,制动气压测量及空调压力测量等恶劣环境。

高清显微镜下的FN-A1601


  芯片尺寸为:1.6mm × 1.6mm,覆盖从15psi~500psi压力量程,全温区内输出非线性和迟滞性优于0.1%FS;生命周期内精度和稳定性优于0.3%FS,已通过AEC-Q103可靠性测试。


    从研发投入到批量量产,飞恩FN-A1601系列压力芯片开发周期不到两年,领跑MEMS压力传感器“芯”速度。未来,飞恩将持续加大研发投入,进一步开发低压微压系列芯片,夯实国产MEMS传感器基础,为中国“芯”制造走向世界而不懈努力!