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是一种基于硅压阻效应的MEMS压力传感器。压力芯片采用硅微加工工艺制作而成,待测压力作用于硅膜片背面,硅膜片正面与玻璃基
压力传感器是一种基于硅压阻效应,采用MEMS技术实现的压力传感器。待测压力从芯片背面加载在硅膜片上,从而使得传感器可在恶